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等离子清洗设备的构造与运行过程

编辑:等离子清洗机发表时间:2017-06-27 16:41:39浏览量:2379

根据用途的不同,可选用多种构造的等离子清洗设备,并可通过选用不用种类的气体,调整装置的基本结构大致是相同的,一般装置可由真空室、真空泵、高频电源、点击、气体导入系统、工作传送系统和控制系统等部分组成。通常使用的真空泵是旋转油泵,高频电源通常用13.56MHz的无线电波,设备的运行过程如下:
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  等离子清洗设备的基本构造:
  根据用途的不同,可选用多种构造的等离子清洗设备,并可通过选用不用种类的气体,调整装置的基本结构大致是相同的,一般装置可由真空室、真空泵、高频电源、点击、气体导入系统、工作传送系统和控制系统等部分组成。通常使用的真空泵是旋转油泵,高频电源通常用13.56MHz的无线电波,设备的运行过程如下:
  (1)被清洗的工件送入真空室并加以固定,启动运行装置,开始排气,使真空室的真空程度达到10Pa左右的标准真空度。一般排气时间大约需要2min。
  (2)向真空室引入等离子清洗用的气体,并使其压力保持在100pa。根据清洗材质的不用,可分别选用氧气、氢气、或氮气等气体。
  (3)在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压,使气体被击穿,并通过辉光放电而发生离子化和产生等离子体。让在真空室产生的等离子体完全笼罩在被处理工件,开始清洗作业。一般清洗处理持续几十秒到几分钟。
  (4)清洗完毕后切断高频电压,并将气体及汽化的污垢排出,同时向真空室内鼓入气体,并使气压升至一个大气压。
2017-06-27 2379人浏览

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